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EFEM 晶圆传送装备

EFEM(Equipment Front End Module)为半导体 Loader/Unloader ,可为差别晶圆尺寸提供装备前端上/下料之自动化? 。正规澳门十大电子游戏EFEM可以完全知足客户制程机台需求与限制,开发出适用于任何半导体制程装备之自动化需求 。

以前端机械人之选用, EFEM与主机台物流方法, SECS/GEM与上位系统的相同与BC(Block Control)整合,正规澳门十大电子游戏拥有履历极富厚的工程职员,可大幅降低客户导入EFEM危害及导入时间 。
 
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